[实用新型]探针台有效
| 申请号： | 201020148328.5 | 申请日： | 2010-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN201637765U | 公开（公告）日： | 2010-11-17 |
| 发明（设计）人： | 顾汉玉 | 申请（专利权）人： | 华润赛美科微电子(深圳)有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 何平 |
| 地址： | 518116 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种探针台，包括上盖板、底座、支撑件、移动平台以及吸盘，支撑件与上盖板和底座连接，对上盖板进行支撑，移动平台设于上盖板和底座之间，吸盘设于移动平台上；支撑件设置于底座的外侧。上述探针台将支撑件设置于底座的外侧，不会对移动平台的移动造成阻碍，使移动平台的移动范围更大，8英寸晶圆上的每一个芯片均能与探针卡上的探针接触，从而能够满足8英寸晶圆的测试需求。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 | ||
【主权项】：
一种探针台，包括上盖板、底座、支撑件、移动平台以及吸盘，所述支撑件与上盖板和底座连接，对上盖板进行支撑，所述移动平台设于上盖板和底座之间，所述吸盘设于移动平台上；其特征在于，所述支撑件设置于底座的外侧。
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