[实用新型]一种高速旋转真空破坏机构有效
| 申请号： | 201020149486.2 | 申请日： | 2010-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN201819008U | 公开（公告）日： | 2011-05-04 |
| 发明（设计）人： | 叶青山 | 申请（专利权）人： | 深圳市华腾半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/20 | 分类号： | F17D1/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种高速旋转真空破坏机构，其特征在于：所述真空破坏机构包括底座、旋转轴、上下真空结合零件与弹性固定片，下真空结合零件固定在底座上，弹性固定片分别与上真空结合零件、旋转轴连接，上真空结合零件安装在转轴上，上下真空结合零件上开有若干个孔，旋转轴的中间开有孔。所述上真空结合零件上开有若干个独立的孔，所开独立孔数与真空破坏机构中的真空破坏通道数相对应。所述下真空结合零件上开有若干个独立的孔，所开独立孔数与真空破坏机构中的工位数相对应。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高速 旋转 真空 破坏 机构 | ||
【主权项】：
一种高速旋转真空破坏机构，其特征在于：所述真空破坏机构包括底座、旋转轴、上下真空结合零件与弹性固定片，下真空结合零件固定在底座上，弹性固定片分别与上真空结合零件、旋转轴连接，上真空结合零件安装在转轴上，上下真空结合零件上开有若干个孔，旋转轴的中间开有孔。
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