[实用新型]液体输送系统和化学机械研磨装置有效
| 申请号： | 201020151282.2 | 申请日： | 2010-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN201677236U | 公开（公告）日： | 2010-12-22 |
| 发明（设计）人： | 邢程;张溢钢;朱海青;汤露奇 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02;B24B37/04;H01L21/302 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李丽 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种应用于化学机械研磨的液体输送系统和包括液体输送系统的化学机械研磨装置，其中所述液体输送系统包括：输送管；用于控制输送管通断的控制开关和分配器，所述分配器位于所述输送管的其中一个末端，具有与所述输送管相通的一个或多个喷嘴；以及与所述输送管相连的流量控制器，用于检测并提供研磨溶液的流量信息。相较于现有技术，本实用新型能够对输送的研磨溶液的流量进行管控，避免出现因流量过高或过低而影响待研磨晶片在化学机械研磨中的去除率的问题，从而制作出符合要求的合格产品，提高产品的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 液体 输送 系统 化学 机械 研磨 装置 | ||
【主权项】：
一种应用于化学机械研磨的液体输送系统，包括输送管；用于控制输送管通断的控制开关和分配器，所述分配器位于所述输送管的其中一个末端，具有与所述输送管相通的一个或多个喷嘴；其特征在于，所述液体输送系统还包括：与所述输送管相连的流量控制器，用于检测并提供输送管中研磨溶液的流量信息。
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