[实用新型]一种低温沉积大面积类金刚石薄膜的装置

摘要

本实用新型提供了一种低温沉积大面积类金刚石薄膜的装置。它包括上电极、下电极、匀气装置、抽气调节阀、分子泵、直联机械泵、净化阀、充气罐、气瓶和负偏压监测仪，上电极、下电极放在真空室中，通过抽气调节阀同分子泵和直联机械泵相连接，分子泵连接净化阀，净化阀分别连接充气罐和气瓶，充气罐通过匀气装置连接到真空室内，负偏压监测仪膜和射频电源分别连接上电极和下电极。本实用新型的设备工艺简单，重复性好，膜的均匀性好。可在光学显微镜下直接观察到金刚石晶体。本实用新型可用于光学，电学和机械等领域的类金刚石薄膜技术。

主权项

一种低温沉积大面积类金刚石薄膜的装置，它包括上电极、下电极、匀气装置、抽气调节阀、分子泵、直联机械泵、净化阀、充气罐、气瓶和负偏压监测仪，其特征在于上电极、下电极、匀气装置放在真空室中，通过抽气调节阀同分子泵和直联机械泵相连接，分子泵连接净化阀，净化阀分别连接充气罐和气瓶，充气罐通过匀气装置连接到真空室内，负偏压监测仪膜和射频电源分别连接上电极和下电极。