[实用新型]一种硅片脱胶机无效
| 申请号： | 201020156064.8 | 申请日： | 2010-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN201678767U | 公开（公告）日： | 2010-12-22 |
| 发明（设计）人： | 徐增宏;王土军;余城伟 | 申请（专利权）人： | 浙江硅宏电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/00 | 分类号： | C30B33/00;B08B3/10 |
| 代理公司： | 杭州天正专利事务所有限公司 33201 | 代理人： | 舒良 |
| 地址： | 324300 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种硅片脱胶机，该硅片脱胶机的滑动轨道通过导向轮活动设在直立轨道上；定滑轮固定在直立轨道上，提升机通过纲绳和定滑轮与滑动轨道相连接；硅片盒位于脱胶槽内，脱胶槽和硅片盒固定设置在滑动轨道上；脱胶槽内安装有加热管；偏心轮及组件设置在滑动轨道的下部。采用本实用新型，可以通过加热管保持脱胶槽内的水恒温，而且采用机械化操作方式，控制稳定，减少硅片在脱胶过程中产生的崩边、毛边、氧化现象，提高成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 脱胶 | ||
【主权项】：
一种硅片脱胶机，它包括直立轨道、滑动轨道、导向轮、脱胶槽、硅片盒、提升机、加热管、定滑轮、纲绳和偏心轮及组件，其特征在于滑动轨道通过导向轮活动设在直立轨道上；定滑轮固定在直立轨道上，提升机通过纲绳和定滑轮与滑动轨道相连接；硅片盒位于脱胶槽内，脱胶槽和硅片盒固定设置在滑动轨道上；脱胶槽内安装有加热管；偏心轮及组件设置在滑动轨道的下部。
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