[实用新型]一种圆柱型等离子体谐振腔有效
| 申请号： | 201020160779.0 | 申请日： | 2010-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN201622996U | 公开（公告）日： | 2010-11-03 |
| 发明（设计）人： | 李震宇;卢松涛;刘善沛;龙胜亚;雷高清;刘泳涛 | 申请（专利权）人： | 长飞光纤光缆有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/04 | 分类号： | H01J37/04 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人： | 胡建平 |
| 地址： | 430073 *** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于PCVD光纤预制棒加工机床的圆柱型等离子体谐振腔，包括有圆柱型谐振腔壳体，在圆柱型谐振腔壳体两端设置截止波导，在圆柱型谐振腔壳体周向开设有一波导入口，其特征在于在圆柱型谐振腔壳体两端的截止波导为活动端盖结构，所述的活动端盖结构截止波导开设有中间通孔，内端面设置凸起的圆台，与圆柱型谐振腔相配置。本实用新型通过拆换截止波导可使谐振腔与不同直径的玻璃衬管相匹配，使波导装置更好地与谐振腔负载匹配，以适应加工过程中负载的变化，减少能量损耗，从而提高了圆柱型等离子体谐振腔的加工适应范围；本实用新型结构简单，易于加工制造；沉积均匀；沉积附着效果好，提高了PCVD工艺的加工精度和效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 圆柱 等离子体 谐振腔 | ||
【主权项】：
一种圆柱型等离子体谐振腔，包括有圆柱型谐振腔壳体，在圆柱型谐振腔壳体的两端设置截止波导，在圆柱型谐振腔壳体周向开设有一波导入口，其特征在于在圆柱型谐振腔壳体两端的截止波导为活动端盖结构，所述的活动端盖结构截止波导开设有中间通孔，内端面设置凸起的圆台，与圆柱型谐振腔相配置。
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