[实用新型]显影液浓度的控制系统有效
| 申请号： | 201020167952.X | 申请日： | 2010-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN201749294U | 公开（公告）日： | 2011-02-16 |
| 发明（设计）人： | 翟宏峰 | 申请（专利权）人： | 彩虹显示器件股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 陆万寿 |
| 地址： | 712021*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种显影液浓度的控制系统，包括补正槽、定量泵、使用槽和化学品供应装置；所述补正槽通过定量泵与使用槽连通；所述使用槽上连接有化学品供应装置。本实用新型的显影液浓度的控制系统通过定量供应的方式向使用槽中补充高浓度显影液，每个固定的处理基板数量就补充预先设计好的补充量；可以有效降低显影液的消耗量，同时显影性能仍然保持稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 显影液 浓度 控制系统 | ||
【主权项】：
显影液浓度的控制系统，其特征在于：包括补正槽、定量泵、使用槽和化学品供应装置；所述补正槽通过定量泵与使用槽连通；所述使用槽上连接有化学品供应装置。
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