[实用新型]等离子处理设备有效
| 申请号： | 201020174737.2 | 申请日： | 2010-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN201674719U | 公开（公告）日： | 2010-12-15 |
| 发明（设计）人： | 丁雪苗 | 申请（专利权）人： | 珠海彼得氏等离子科技有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24;H05H1/28 |
| 代理公司： | 珠海智专专利商标代理有限公司 44262 | 代理人： | 刘曾剑 |
| 地址： | 519060 广东省珠海市香洲*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种等离子处理设备，包括具有腔体的壳体、位于该腔体内部的电极板以及可供导热流体在其内循环流动的温控系统，该温控系统包括了固定于所述电极板的温控管道、使所述导热流体在所述温控管道内循环流动的流体泵以及使所述导热流体保持在预设温度的流体温度调节器。与现有技术相比，本实用新型通过在电极板的底面设置温控管道，使腔体内部电极板的温度保持在基本恒定的状态，从而提高了等离子处理设备的处理均匀性，改善了处理效果。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子 处理 设备 | ||
【主权项】：
等离子处理设备，包括具有腔体的壳体和位于该腔体内部的电极板，其特征在于：该设备还包括了可供导热流体在其内循环流动的温控系统，该温控系统包括了固定于所述电极板的温控管道、使所述导热流体在所述温控管道内循环流动的流体泵以及使所述导热流体保持在预设温度的流体温度调节器。
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