[实用新型]具有中心定位特征的喷淋头电极及其组件

摘要

一种喷淋头电极，包含：在底面上具有等离子体暴露表面、在顶面上具有安装表面的圆板，该底面包括在该板的外部圆周上的内部和外部台阶；该外部台阶被配置为与夹紧环的向内的延伸的法兰匹配而该内部台阶被配置为与围绕该喷淋头电极的外部电极的一部分匹配，从而该外部电极的内部锥体形表面从该等离子体暴露表面的外缘延伸；该安装表面包括被配置为接收中心定位环的环形通道和被配置为接收定位销的多个定位销缺口，该多个定位销缺口以与背板中的定位销孔相匹配的图案排列，该板由该夹紧环面对该背板固定；该板包括以与该背板中的气体供应口相匹配的图案排列的处理气体出口，该气体出口与在该顶面和该底面之间延伸的气体通道互通。

主权项

一种用作电容耦合等离子体处理室的上电极的喷淋头电极，包含：在底面上具有等离子体暴露表面、在顶面上具有安装表面的圆板，该底面包括在该板的外部圆周上的内部台阶；其中：该内部台阶被配置为与围绕该喷淋头电极的外部电极的一部分匹配从而该外部电极的内部锥体形表面从该等离子体暴露表面的外缘延伸；该安装表面包括被配置为接收中心定位环的环形通道和被配置为接收定位销的多个定位销缺口，该多个定位销缺口以与垫板中的定位销孔相匹配的图案排列，该板由该夹紧环面对该垫板固定；该板包括以与该垫板中的气体供应口相匹配的图案排列的处理气体出口，该气体出口与在该顶面和该底面之间延伸的气体通道互通。