[实用新型]具有硅棒预热器的磷检炉无效
申请号: | 201020178370.1 | 申请日: | 2010-05-04 |
公开(公告)号: | CN201682644U | 公开(公告)日: | 2010-12-22 |
发明(设计)人: | 陆俊宏;钱承荣;白锐;施宇 | 申请(专利权)人: | 雅安永旺硅业有限公司 |
主分类号: | H05B6/02 | 分类号: | H05B6/02;C01B33/021 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 625102 四川省雅*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种具有硅棒预热器的磷检炉。该具有硅棒预热器的磷检炉,包括炉体(1)、转轴(10)、夹具(11),转轴(10)一端固定于炉体(1)顶部,另一端位于炉体(1)内并与夹具(11)一端固定连接,夹具(11)另一端为用于固定多晶硅检验棒(2)的夹持部,所述多晶硅检验棒(2)下方设有高频线圈(3),多晶硅检验棒(2)侧面临近多晶硅检验棒(2)处设有硅棒预热器(4)。本实用新型以辐射传热的形式加热多晶硅检验棒,用以替换现有技术中采用钼丝缠绕检验棒直接加热,避免了多晶硅在加热过程中,金属杂质挥发,沾污多晶硅检验棒,保证检测的准确性。 | ||
搜索关键词: | 具有 预热器 磷检炉 | ||
【主权项】:
具有硅棒预热器的磷检炉,包括炉体(1)、转轴(10)、夹具(11),转轴(10)一端固定于炉体(1)顶部,另一端位于炉体(1)内并与夹具(11)一端固定连接,夹具(11)另一端为用于固定多晶硅检验棒(2)的夹持部,其特征在于,所述多晶硅检验棒(2)下方设有高频线圈(3),多晶硅检验棒(2)侧面临近多晶硅检验棒(2)处设有硅棒预热器(4)。
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