[实用新型]研磨液供应装置无效
| 申请号： | 201020180778.2 | 申请日： | 2010-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN201728595U | 公开（公告）日： | 2011-02-02 |
| 发明（设计）人： | 左少杰;詹明松;王怀锋;余文军;曹开玮 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 430205 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及化学机械研磨设备，尤其涉及一种研磨液供应装置。这种研磨液供应装置，包括研磨液罐，还包括保湿液罐，所述保湿液罐内液面上的空间与所述研磨液罐内液面上的空间密闭连通。增设一个与研磨液罐密闭连通的保湿罐后，只要保证研磨液罐内的空间的水蒸气压力大于研磨液罐壁上的研磨液中的水的饱和蒸汽压，就可以使得研磨液罐壁上的研磨液中的水不容易蒸发或者不蒸发，可以有效防止研磨液在研磨液罐壁上干燥结晶，减少研磨液中的大颗粒产生，因而有效避免了颗粒物质划伤产品或附着在产品上，提高了产品合格率。另外，由于能有效防止研磨液罐壁上的研磨液结晶成颗粒，从而可以减少冲洗研磨液罐的次数，从而降低了维护成本。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 供应 装置 | ||
【主权项】：
一种研磨液供应装置，包括研磨液罐，其特征在于：还包括保湿液罐，所述保湿液罐内液面上的空间与所述研磨液罐内液面上的空间密闭连通。
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