[实用新型]硅基麦克风及其振膜有效
| 申请号： | 201020184999.7 | 申请日： | 2010-05-04 |
| 公开（公告）号： | CN201733432U | 公开（公告）日： | 2011-02-02 |
| 发明（设计）人： | 杨斌;颜毅林 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技(深圳)有限公司;瑞声微电子科技(常州)有限公司 |
| 主分类号： | H04R7/02 | 分类号： | H04R7/02;H04R19/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518057 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种硅基麦克风，包括振膜主体，在所述振膜主体的边缘上设有突出的一对扭转梁，所述振膜主体包括通过该对扭转梁的直线的两侧的第一部分和第二部分，第一部分质量大于第二部分质量。与现有技术相比，本实用新型振膜主体通过两个扭转梁而被支撑，能够有效释放振膜在沉积过程中所形成的应力，从而进一步提高麦克风产品的灵敏度和一致性。 | ||
| 搜索关键词： | 麦克风 及其 | ||
【主权项】：
一种振膜，包括振膜主体，其特征在于：在所述振膜主体的边缘上设有突出的一对扭转梁，所述振膜主体包括通过该对扭转梁的直线的两侧的第一部分和第二部分，第一部分质量大于第二部分质量。
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