[实用新型]一种硅片冲洗架无效
申请号: | 201020189890.2 | 申请日: | 2010-05-14 |
公开(公告)号: | CN201751432U | 公开(公告)日: | 2011-02-23 |
发明(设计)人: | 顾正如 | 申请(专利权)人: | 安徽新鑫太阳能科技有限公司 |
主分类号: | C30B33/00 | 分类号: | C30B33/00;B08B3/12 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 王雪梅 |
地址: | 239341 安徽省*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 一种硅片冲洗架,包括架体、料板轨道及两个铝管,所述架体上侧设置料板轨道,此料板轨道下部左右两侧分别设置一根带有小孔的铝管,该铝管下方的架体侧壁两侧开设锯齿槽。本实用新型有益效果为:可在单晶切完后,将其固定到此架上进行冲洗,通过设置摆放的轨道、冲洗硅片的铝管、锯齿槽,可在稳固清洗的同时而防止硅片在冲洗过程中脱落并倒在铁板上损坏。 | ||
搜索关键词: | 一种 硅片 冲洗 | ||
【主权项】:
一种硅片冲洗架,包括架体(1)、料板轨道(2)及两个铝管(3),其特征在于:所述架体(1)上侧设置料板轨道(2),此料板轨道(2)下部左右两侧分别设置一根带有小孔的铝管(3),该铝管(3)下方的架体侧壁两侧开设锯齿槽(4)。
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