[实用新型]分子泵结构镀膜用单元式真空室

摘要

本实用新型涉及到一种分子泵结构镀膜用单元式真空室，属于磁控镀膜机械领域，技术方案是一个大真空腔室通过隔板分为若干个小真空单元，在每个真空单元的隔板上覆盖有阴极盖板，所述阴极盖板径向中心线位置上设置有分子泵安装法兰，同时，其上端和下端还分别设置有至少四个以上的溅射阴极安装孔，所述分子泵安装法兰上安装有分子泵，溅射阴极安装孔上安装有溅射阴极，当阴极盖板覆盖分子泵时，阴极溅射工作；当阴极盖板覆盖阴极溅射时，分子泵工作，解决了以前溅射阴极和分子泵不能同时工作的缺陷。本实用新型提高了镀膜的灵活性，减少了镀膜的维护次数，提高了设备的产能。

主权项

一种分子泵结构镀膜用单元式真空室，包含一个大真空腔室(100)，其特征在于，所述大真空腔室(100)通过隔板(8)分割成若干个相同的真空单元(6)，所述每个真空单元(6)边侧覆盖有真空盖板(1)，所述真空盖板(1)为框架结构，所述真空单元(6)顶端设置有阴极盖板(9)，所述阴极盖板(9)径向中心线位置处从上至下均匀设置有至少一个以上的分子泵安装法兰(15)，所述分子泵安装法兰(15)上安装有分子泵，所述阴极盖板(9)四角边沿上对称安装有旋转阴极安装孔(16)，所述旋转阴极安装孔(16)安装有溅射阴极。