[实用新型]新型加工石英坩埚的金属模具有效
| 申请号： | 201020194781.X | 申请日： | 2010-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN201722278U | 公开（公告）日： | 2011-01-26 |
| 发明（设计）人： | 洪婧;关永卿;胡铁军;阮根才;刘黎明 | 申请（专利权）人： | 杭州大和热磁电子有限公司 |
| 主分类号： | C03B20/00 | 分类号： | C03B20/00 |
| 代理公司： | 杭州天正专利事务所有限公司 33201 | 代理人： | 王兵;黄美娟 |
| 地址： | 310053 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 新型加工石英坩埚的金属模具，包括外筒、底板、成型内筒，所述外筒与成型内筒的夹层内设有进水管，所述成型内筒底部镂空，所述镂空处连接有水冷底座，所述水冷底座上设有真空抽气孔和出水管，所述真空抽气孔与水冷底座上的真空腔连通，所述水冷底座上设有将水路与气路分隔开的冷却立柱。本实用新型的优点及有益效果：内筒没有变形，石英坩埚尺寸精度提高；自动化焊接，焊缝质量好、效率高；取消了内筒和冷却立柱贴合面的间隙，直接进行水冷，提高冷却效果，提高模具使用寿命；减少辅料消耗量和有害气体排放，实现清洁生产。 | ||
| 搜索关键词： | 新型 加工 石英 坩埚 金属 模具 | ||
【主权项】：
新型加工石英坩埚的金属模具，包括外筒、底板、成型内筒，所述外筒与成型内筒的夹层内设有进水管，其特征在于：所述成型内筒底部镂空，所述镂空处连接有水冷底座，所述水冷底座上设有真空抽气孔和出水管，所述真空抽气孔与水冷底座上的真空腔连通，所述水冷底座上设有将水路与气路分隔开的冷却立柱。
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