[实用新型]一种次单晶硅铸锭炉的双腔体隔热笼有效
| 申请号： | 201020195636.3 | 申请日： | 2010-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN201695105U | 公开（公告）日： | 2011-01-05 |
| 发明（设计）人： | 赵波;徐芳华;王琤 | 申请（专利权）人： | 绍兴县精功机电研究所有限公司;晶海洋半导体材料（东海）有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B28/06;C30B35/00 |
| 代理公司： | 浙江翔隆专利事务所 33206 | 代理人： | 张建青 |
| 地址： | 312030 浙江省绍*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种次单晶硅铸锭炉的双腔体隔热笼，属于晶体硅铸锭炉技术领域。它解决了现有的多晶硅铸锭炉在制备时存在硅液内部温度梯度过小，造成籽晶在尚未熔化和完全熔化之间的时间很短，难以控制最终结果的问题。本次单晶硅铸锭炉的双腔体隔热笼，在隔热笼内壁设有将隔热笼分隔成上腔室和下腔室的环形挡块，环形挡块的中间连通上下两个腔室。本实用新型能够延长了籽晶在尚未熔化和完全熔化之间的时间，并且降低工艺难度，使得次单晶硅铸锭炉能够生产出品质接近单晶的次单晶硅。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 铸锭 双腔体 隔热 | ||
【主权项】：
一种次单晶硅铸锭炉的双腔体隔热笼，其特征在于，在隔热笼(7)内壁设有将隔热笼(7)分隔成上腔室和下腔室的环形挡块(11)，环形挡块(11)的中间连通上腔室和下腔室。
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