[实用新型]一种热丝张紧机构无效
申请号: | 201020202112.2 | 申请日: | 2010-05-25 |
公开(公告)号: | CN201695087U | 公开(公告)日: | 2011-01-05 |
发明(设计)人: | 晏双利 | 申请(专利权)人: | 晏双利 |
主分类号: | C23C16/27 | 分类号: | C23C16/27 |
代理公司: | 北京东方汇众知识产权代理事务所(普通合伙) 11296 | 代理人: | 刘淑芬 |
地址: | 100024 北京市朝*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型属于化学气相沉积金刚石领域,特别是涉及热丝化学气相沉积金刚石设备中的一种热丝张紧机构。所述热丝张紧机构包括第一横梁、第二横梁、支撑条、横条、固定电极、活动电极、活动螺钉及弹簧;所述第一横梁与第二横梁平行相对;所述固定电极一端带钩并固定在第一横梁上;所述活动电极两端带钩,通过活动螺钉安装在第二横梁上;所述支撑条有两根,一端都固定在第二横梁上,另一端都与横条固定,形成固定架;所述弹簧一端连接在活动电极上,另一端固定在横条上。本实用新型一种热丝张紧机构,其作用是在金刚石制备过程中,随着电流增加,加热丝由于被加热而拉长变形,但其变形量随即被弹簧所吸收,即可使加热丝一直处于平直状态。 | ||
搜索关键词: | 一种 热丝张紧 机构 | ||
【主权项】:
一种热丝张紧机构,其特征在于:所述热丝张紧机构包括第一横梁、第二横梁、支撑条、横条、固定电极、活动电极、活动螺钉及弹簧;所述第一横梁与第二横梁平行相对;所述固定电极一端带钩并固定在第一横梁上;所述活动电极两端带钩,通过活动螺钉安装在第二横梁上;所述支撑条有两根,一端都固定在第二横梁上,另一端都与横条固定,形成固定架;所述弹簧一端连接在活动电极上,另一端固定在横条上。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
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