[实用新型]一种蒸镀设备有效
| 申请号： | 201020203146.3 | 申请日： | 2010-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN201785478U | 公开（公告）日： | 2011-04-06 |
| 发明（设计）人： | 邱勇;张嵩 | 申请（专利权）人： | 昆山维信诺显示技术有限公司;清华大学;北京维信诺科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种蒸镀设备，包括蒸镀室，位于蒸镀室内的坩埚，加热坩埚的蒸发源，基板，还包括有孔的挡板，挡板位于坩埚与基板之间，挡板上设有加热装置。本实用新型提供的蒸镀设备，通过在坩埚上设置挡板和挡板加热装置，有效地防止蒸发材料飞溅造成基板损坏的现象，同时防止了蒸发材料沉积在挡板上，堵塞挡板的孔的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 设备 | ||
【主权项】：
一种蒸镀设备，包括蒸镀室，位于蒸镀室内的坩埚，加热坩埚的蒸发源，基板，其特征在于，还包括有孔的挡板，挡板位于坩埚与基板之间，挡板上设有加热装置。
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