[实用新型]单晶硅生产用异形石墨坩埚有效
| 申请号： | 201020203608.1 | 申请日： | 2010-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN201670890U | 公开（公告）日： | 2010-12-15 |
| 发明（设计）人： | 历福江 | 申请（专利权）人： | 烟台福江石墨有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 264000 山东省烟*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型是一种单晶硅生产用异形石墨坩埚，由三瓣锅体组装而成，每一瓣锅体均由互为一体的锅壁部分(3)和锅底部分(1)组成，相邻两瓣锅体之间带有组装缝隙(2)，三条组装缝隙的下端汇集于中心轴(4)与锅底部分(1)相交的位置，锅壁部分(3)的组装面的延长面偏离中心轴(4)。本实用新型的使用寿命提高到110炉以上。同时，由于热场中的热量冲击得到缓解，使产品的质量稳定性得到了很大提高，解决了单晶硅少子物理特性和电阻不稳的问题。有效降低了单晶硅的生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶硅 生产 异形 石墨 坩埚 | ||
【主权项】：
一种单晶硅生产用异形石墨坩埚，由三瓣锅体组装而成，每一瓣锅体均由互为一体的锅壁部分(3)和锅底部分(1)组成，相邻两瓣锅体之间带有组装缝隙(2)，三条组装缝隙的下端汇集于中心轴(4)与锅底部分(1)相交的位置，其特征在于：锅壁部分(3)的组装面的延长面偏离中心轴(4)。
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