[实用新型]卧式镀膜生产线的传动结构有效
申请号: | 201020204516.5 | 申请日: | 2010-05-26 |
公开(公告)号: | CN201713573U | 公开(公告)日: | 2011-01-19 |
发明(设计)人: | 黄启耀;姜翠宁;闫都伦;王克斌;唐贵民 | 申请(专利权)人: | 深圳中南光电技术装备有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518000 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种可低成本确保大尺寸基板在高温镀膜时传动精度的传动结构,包括传动架和传送轴,传动架的两侧对称的各装置有一个悬臂的传送轮,所述传送轴伸出传动架两侧的外端部通过同步带传动至传送轮;所述传送轮上面摆置有一用于装载基板的运动的小车。本方案通过使用常规材料进行制备传动轴,不需要使用特殊处理的耐高温材料,大大降低了生产成本,并解决了大尺寸基板卧式镀膜线的同步传动问题。 | ||
搜索关键词: | 卧式 镀膜 生产线 传动 结构 | ||
【主权项】:
一种卧式镀膜生产线的传动结构,包括传动架和传送轴,其特征在于:传动架的两侧对称的各装置有一个悬臂的传送轮(3),所述传送轴(4)伸出传动架两侧的外端部通过同步带(1)传动至传送轮;所述传送轮上面摆置有一用于装载基板的运动的小车(6)。
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