[实用新型]一种ECR等离子体溅射装置用基板保持器无效
申请号: | 201020206956.4 | 申请日: | 2010-05-28 |
公开(公告)号: | CN201738000U | 公开(公告)日: | 2011-02-09 |
发明(设计)人: | 谢英杰;刁东风;蔡天骁 | 申请(专利权)人: | 西安交通大学 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C14/34 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 惠文轩 |
地址: | 710049*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种ECR等离子体溅射装置用基板保持器,包括原基板(3),与原基板(3)连接的固定轴(4),依次轴向设置在固定轴(4)上的支撑板(5)和用于连接真空腔的固定法兰(2),支撑板(5)和固定法兰(2)上贯穿有平行于固定轴(4)的传动轴(6),传动轴(6)的外端部设置有转动手柄(7);其特征在于,在原基板(3)上设置有一扩大基板(8),垂直于扩大基板(8)贯穿有一从动轴(9),从动轴(9)和传动轴(6)分别设置有相互啮合的齿轮(11),从动轴(9)和传动轴(6)的内端部分别固定有上、下挡板(12、13);所述从动轴(9)贯穿扩大基板(8)的位置,靠近扩大基板(8)外周。 | ||
搜索关键词: | 一种 ecr 等离子体 溅射 装置 用基板 保持 | ||
【主权项】:
一种ECR等离子体溅射装置用基板保持器,包括原基板(3),与原基板(3)连接的固定轴(4),依次轴向设置在固定轴(4)上的支撑板(5)和固定法兰(2),支撑板(5)和固定法兰(2)上贯穿有平行于固定轴(4)的传动轴(6),传动轴(6)的外端部设置有转动手柄(7);其特征在于,在原基板(3)上设置有一扩大基板(8),垂直于扩大基板(8)贯穿有一从动轴(9),从动轴(9)和传动轴(6)分别设置有相互啮合的齿轮(11),从动轴(9)和传动轴(6)的内端部分别固定有上、下挡板(12、13);所述从动轴(9)贯穿扩大基板(8)的位置,靠近扩大基板(8)外周。
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