[实用新型]单晶炉放气装置有效
申请号: | 201020213901.6 | 申请日: | 2010-06-03 |
公开(公告)号: | CN201686763U | 公开(公告)日: | 2010-12-29 |
发明(设计)人: | 杨金海 | 申请(专利权)人: | 宁夏日晶电子科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 上海科琪专利代理有限责任公司 31117 | 代理人: | 伍贤喆;朱丽琴 |
地址: | 753000 宁夏回族自治*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型涉及单晶炉领域,尤其涉及一种单晶炉放气装置。一种单晶炉放气装置,放气阀体(1)由卡箍(6)固定在隔离阀的放气接口(7)上用内密封圈(5)密封,放气阀螺母(2)设置在放气阀体(1)的放气口上,所述放气阀体(1)的放气口上设置有一圈密封圈槽,密封圈槽内设置有外密封圈(3),外密封圈(3)和放气阀螺母(2)相配合,所述放气阀体(1)的外壁设置有限位凸台,所述放气阀螺母(2)侧壁上开有通孔,通孔内装有顶丝(4),所述顶丝(4)和限位凸台相配合。本实用新型放气平缓,非放气时整个结构气密性好,并且避免了手动放气作业中产生放气阀螺母完全旋出、掉落的现象,极大保证了作业的安全性。 | ||
搜索关键词: | 单晶炉 放气 装置 | ||
【主权项】:
一种单晶炉放气装置,包括放气阀体(1)、放气阀螺母(2)和卡箍(6),所述放气阀体(1)由卡箍(6)固定在隔离阀的放气接口(7)上用支架支撑内密封圈(5)密封,放气阀螺母(2)设置在放气阀体(1)的放气口上,其特征是:所述放气阀体(1)的放气口上设置有一圈密封圈槽,密封圈槽内设置有外密封圈(3),外密封圈(3)和放气阀螺母(2)相配合,所述放气阀体(1)的外壁设置有限位凸台,所述放气阀螺母(2)侧壁上开有通孔,通孔内装有顶丝(4),所述顶丝(4)和限位凸台相配合。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁夏日晶电子科技有限公司,未经宁夏日晶电子科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201020213901.6/,转载请声明来源钻瓜专利网。