[实用新型]一种干涉仪剪切量的标定装置无效
| 申请号： | 201020216773.0 | 申请日： | 2010-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN201716108U | 公开（公告）日： | 2011-01-19 |
| 发明（设计）人： | 张周锋;赵建科;李霞 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01J3/02 | 分类号： | G01J3/02;G01J3/45 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 商宇科 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种干涉仪剪切量的标定装置，干涉仪剪切量的标定装置包括激光器以及与激光器设置于同一光路上的CCD摄像机。本实用新型提供了一种高精度、高清晰度以及准确定位的干涉仪剪切量的标定装置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 干涉仪 剪切 标定 装置 | ||
【主权项】：
一种干涉仪剪切量的标定装置，其特征在于：所述干涉仪剪切量的标定装置包括激光器以及与激光器设置于同一光路上的CCD摄像机。
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