[实用新型]一种硅单晶炉的热场系统无效
| 申请号： | 201020218524.5 | 申请日： | 2010-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN201648565U | 公开（公告）日： | 2010-11-24 |
| 发明（设计）人： | 屠勇勇;李金甫 | 申请（专利权）人： | 浙江芯能光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14;C30B29/06 |
| 代理公司： | 浙江杭州金通专利事务所有限公司 33100 | 代理人： | 吴关炳 |
| 地址： | 314400 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种硅单晶炉的热场系统，包括加热器、坩埚、导流筒、保温筒、保温盖、保温层以及埚托、托杆、上压片和下压片；还包括设置于上保温盖上面的挡圈；且保温层分为上保温套、中保温套和下保温套，分别设置于所述上保温筒、中保温筒和下保温筒的外侧。改善了热场系统的保温性能和保护气体的流动性能，有利于提高最终产品的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅单晶炉 系统 | ||
【主权项】：
一种硅单晶炉的热场系统，包括加热器、坩埚、导流筒、保温筒、保温盖、保温层以及埚托、托杆、上压片和下压片；所述保温筒包括上保温筒、中保温筒和下保温筒；所述保温盖包括上保温盖和下保温盖；其特征在于，还包括挡圈，所述挡圈设置于上保温盖的上面；所述保温层分为上保温套、中保温套和下保温套，分别设置于所述上保温筒、中保温筒和下保温筒的外侧。
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