[实用新型]真空镀膜机热屏蔽装置有效
| 申请号： | 201020218919.5 | 申请日： | 2010-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN201729869U | 公开（公告）日： | 2011-02-02 |
| 发明（设计）人： | 黄国兴;孙桂红;祝海生;郭爱云;黄乐 | 申请（专利权）人： | 湘潭宏大真空设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/56 |
| 代理公司： | 湘潭市汇智专利事务所 43108 | 代理人： | 魏娟 |
| 地址： | 411100 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 真空镀膜机热屏蔽装置，包括真空镀膜箱体、加热器、镜面反射板、支撑架，所述加热器设置在所述真空镀膜箱体中并处于基片运行通道的上、下方，在所述加热器与所述真空镀膜箱体之间设有至少两层镜面朝向所述加热器的所述镜面反射板，所述镜面反射板之间及所述镜面反射板与所述真空镀膜箱体之间通过所述支撑架固定连接。本实用新型结构简单合理、节能效果显著、可有效降低真空镀膜箱体温度，使之符合工艺规范要求，资源节约，提高基片加热均匀性，适于工业化生产，可与各种型号的真空镀膜机配套使用。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 屏蔽 装置 | ||
【主权项】：
真空镀膜机热屏蔽装置，包括真空镀膜箱体、加热器、镜面反射板、支撑架，其特征在于：所述加热器设置在所述真空镀膜箱体中并处于基片运行通道的上、下方，在所述加热器与所述真空镀膜箱体之间设有至少两层镜面朝向所述加热器的所述镜面反射板，所述镜面反射板之间及所述镜面反射板与所述真空镀膜箱体之间通过所述支撑架固定连接。
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