[实用新型]一种单片集成串联耦合腔波长可切换半导体激光器无效
| 申请号： | 201020220801.6 | 申请日： | 2010-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN201708438U | 公开（公告）日： | 2011-01-12 |
| 发明（设计）人： | 金嘉亮;何建军 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | H01S5/06 | 分类号： | H01S5/06;H01S5/10;H01S5/0625 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林怀禹 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种单片集成串联耦合腔波长可切换半导体激光器。包括三个串联耦合的法布里-珀罗谐振腔，第一与第二法布里-珀罗谐振腔之间和第二与第三法布里-珀罗谐振腔之间，分别通过刻蚀的各自的空气槽相隔开。所述的两个空气槽刻蚀深度超过半导体激光器的有源芯层，第一和第三法布里-珀罗谐振腔通过电泵浦的方式产生光学增益从而输出激光，同时第二法布里-珀罗谐振腔产生损耗用于优化激光器的单模特性；其中：第一和第三法布里-珀罗谐振腔的一个端面为解离形成的反射面，另一个为通过刻蚀形成垂直侧壁的空气槽。这种激光器的波长可以在一系列离散的数值上精确切换，具有单模特性好，波长切换控制方法可靠，制作工艺简单成本较低等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单片 集成 串联 耦合 波长 切换 半导体激光器 | ||
【主权项】：
一种单片集成串联耦合腔波长可切换半导体激光器，包括三个串联耦合的法布里 珀罗谐振腔(101，103、102)，第一法布里 珀罗谐振腔(101)与第二法布里 珀罗谐振腔(103)之间和第二法布里 珀罗谐振腔(103)与第三法布里 珀罗谐振(102)之间，分别通过刻蚀的各自的空气槽(106、108)相隔开；其特征在于：所述的两个空气槽(106、108)刻蚀深度超过半导体激光器的有源芯层(114)，第一法布里 珀罗谐振腔(101)和第三法布里 珀罗谐振腔(102)通过电泵浦的方式产生光学增益从而输出激光，同时第二法布里 珀罗谐振腔(103)产生损耗用于优化激光器的单模特性；其中：第一法布里 珀罗谐振腔(101)的一个端面为解离形成的反射面，另一个为通过刻蚀形成垂直侧壁的空气槽(106)；第三法布里 珀罗谐振腔(102)的一个端面为解离形成的反射面，另一个为通过刻蚀形成垂直侧壁的空气槽(108)。
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