[实用新型]一种富集气体氙的分离装置

摘要

本实用新型提供一种富集气体氙的分离装置，将氮气瓶接减压阀和四通接头，四通接头将管分三路，一路接质量流量控制器、阀门和四通接头，四通接头接一级除杂柱和一级吸附柱，一级吸附柱出口装压力传感器接二级除杂柱，剩余口接阀门，三通接头、四通接头与真空泵；二路装质量流量计、阀门和四通接头，其一路阀门与二级除杂柱出口接，另一路通过压力传感器与二级吸附柱进口接，剩余接口装阀门；三路管通过变径接头、转子流量计，阀门与三级吸附柱进口的压力传感器三通接头接，三通接头另一口接阀门；二级吸附柱出口接四通接头、阀门与接真空泵的三通接头通，四通接头接口，一接口装阀门，另一口通过变径接头接三级除杂柱进口，三级吸附柱出口接真空泵的四通接头，该管接两个四通接头，阀门、色谱定量管、变径接头和一个注射器和测量源盒。

主权项

一种富集气体氙的分离装置，包括通过管路连接的氮气瓶(1)、减压阀(2)、除杂柱、吸附柱、流量计、压力传感器、测量源盒(17)、色谱定量管(14)和真空泵(12)，其特征是：在氮气瓶(1)出口的连接管道上依次安装着减压阀(2)和四通接头(4)，四通接头(4)连接的管路分为三路，其中第一路管路上依次连接着质量流量控制器(3)、阀门和四通接头(6)，四通接头(6)引出的两路管路分别连接着一级除杂柱(30)和一级吸附柱(29)，一级吸附柱(29)的出口通过管路安装的压力传感器(28)连接着二级除杂柱27，该四通接头(6)剩余的接口连接的管路上依次通过阀门，三通接头(8)、四通接头(110与真空泵(12)连接；在第二路管路上依次安装着质量流量计(7)、阀门和四通接头(8)，该四通接头(8)分出的一路管路通过阀门与二级除杂柱(27)的出口连接，分出的另一路管路通过压力传感器(26)与二级吸附柱(25)的进口连接，该四通接头(8)剩余的接口上安装着阀门；第三路管道通过变径接头(5)、转子流量计(10)，阀门与第三级吸附柱(20)进口上安装的压力传感器(21)连接的三通接头(22)相连接，三通接头(22)的另一接口上连接着阀门；二级吸附柱(28)的出口通过管路依次连接的四通接头(31)、阀门与连接真空泵(12)管路上的三通接头(9)连通，四通接头(31)的两个接口，其中一个接口安装着阀门，另一个接口通过变径接头(24)连接着三级除杂柱(23)的进口，三级吸附柱(20)的出口通过管路与连接真空泵(12)的四通接头(11)连通，在该管路上自下而上依次连接着两个四通接头(18)、(17)，阀门、色谱定量管(14)、变径接头(13)；该管路上第一个四通接头(18)的两个接口，其中一个接口的连接管道通过三通接头(19)和阀门与三级除杂柱(23)的出口连接，另一个接口上连接着阀门，第二个四通接头(16)的两个接口上分别安装着注射器(15)和测量源盒(17)。