[实用新型]太阳能电池沉积用放电电极组件

摘要

本实用新型涉及一种太阳能电池沉积用放电电极组件，属于太阳能电池技术领域。沉积用放电电极组件包括电极板和其上的信号馈入口，电极板的馈入口位于阴极板背面的中心区域下凹的圆形面内，还包括端面是圆形的馈入组件，该馈入组件接射频或甚频功率电源的负极，馈入组件的圆形端面与电极板的信号馈入口面接触连接，电极板的阴极板上设有接地的屏蔽罩，该屏蔽罩上开有通孔。积极效果是克服了一点或多点馈入因馈线距离造成的损耗，在射频或甚高频功率电源驱动下可获得均匀电场大面积稳定放电，有效的消除了甚高频引发的驻波和趋肤效应，能够提高产率，降低成本。

主权项

一种太阳能电池沉积用放电电极组件，包括电极板和其上的信号馈入口，其特征在于电极板的馈入口位于阴极板背面的中心区域下凹的圆形面内，还包括端面是圆形的馈入组件，该馈入组件接射频或甚频功率电源的负极，馈入组件的圆形端面与电极板的信号馈入口面接触连接，以面馈入射频或甚频功率电源信号；电极板的阴极板上设有接地的屏蔽罩，该屏蔽罩上开有通孔。