[实用新型]换滤芯时不影响后研磨作业的晶圆研磨液产出结构有效
| 申请号： | 201020223797.9 | 申请日： | 2010-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN201751104U | 公开（公告）日： | 2011-02-23 |
| 发明（设计）人： | 黄怡文 | 申请（专利权）人： | 宸沅国际股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02 |
| 代理公司： | 天津三元专利商标代理有限责任公司 12203 | 代理人： | 高凤荣 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种换滤芯时不影响后研磨作业的晶圆研磨液产出结构，主要由一混酸稀释晶圆研磨原液的混酸槽、至少一只滤除过大微粒的过滤器、及一储备并供应拌妥晶圆研磨液到晶圆研磨机的供应槽管接而成，该些过滤器不设于供应槽的供应槽输出管，而设于供应槽的供应槽输入管。本实用新型使产出当中，过滤器的滤芯阻塞到设定限度时，不停机换新滤芯的短暂抢修期间，仍能借由供应槽内稳定的拌妥晶圆研磨液存量，及畅通不受换修滤芯波及的供应槽输出管，使晶圆研磨机仍有稳定的研磨液压力及流量进行研磨，保持晶圆研磨良率，可将更小微粒过滤去除，降低研磨晶圆刮伤表面的机率。 | ||
| 搜索关键词： | 换滤芯时不 影响 研磨 作业 产出 结构 | ||
【主权项】：
一种换滤芯时不影响后研磨作业的晶圆研磨液产出结构，主要由一混酸稀释晶圆研磨原液的混酸槽、至少一只滤除过大微粒的过滤器、及一储备并供应拌妥晶圆研磨液到晶圆研磨机的供应槽管接而成，其特征在于：该些过滤器不设于供应槽的供应槽输出管，而设于供应槽的供应槽输入管。
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