[实用新型]真空镀膜机有效
| 申请号： | 201020227382.9 | 申请日： | 2010-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN201770764U | 公开（公告）日： | 2011-03-23 |
| 发明（设计）人： | 陈卫飞 | 申请（专利权）人： | 苏州鼎利涂层有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹 |
| 地址： | 215123 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空镀膜机，其具有第一氮气系统，用于提供镀膜工艺用氮气，和第二氮气系统，用于提供冷却用氮气、前级机械泵气蚀用氮气和分子泵内部清洁吹扫用氮气。本实用新型通过在真空镀膜机中使用两套独立的氮气系统，分别提供高纯的工艺用氮气以及纯的冷却用氮气、前级机械泵气蚀用氮气和分子泵内部清洁吹扫用氮气，在保障了产品质量的前提下节约了生产成本，避免了高纯氮气的浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 | ||
【主权项】：
一种真空镀膜机，其特征在于，所述真空镀膜机具有第一氮气系统，用于提供镀膜工艺用氮气；和第二氮气系统，用于提供冷却用氮气、前级机械泵气蚀用氮气和分子泵内部清洁吹扫用氮气。
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