[实用新型]一种激光分光装置及激光加工设备

摘要

本实用新型涉及用激光束加工，尤其涉及用激光束加工中的一种激光分光装置及激光加工设备。本实用新型提供了一种激光分光装置，包括输入机构和输出机构，还包括分光机构，所述输入机构包括发射出激光输入光线的激光器和将所述激光器发射出的激光输入光线扩束并准直形成激光扩束光线的扩束镜，所述分光机构包括调节所述激光扩束光线的振动方向形成激光调后光线的第一半波片和将所述激光调后光线向第一分光路径和第二分光路径分光的分光棱镜。本实用新型还提供了一种激光加工设备。本实用新型的有益效果是有利于分光之后加工的一致性，可以大幅提高激光的加工速度，降低成本，特别适用对速度要求较高，对激光能量要求较低的加工，如对IC的加工。

主权项

一种激光分光装置，包括输入机构和输出机构，其特征在于：还包括分光机构，所述输入机构、分光机构和输出机构按照激光光路依次设置，所述输入机构包括发射出激光输入光线的激光器(1)和将所述激光器(1)发射出的激光输入光线扩束并准直形成激光扩束光线的扩束镜(2)，所述分光机构包括调节所述激光扩束光线的振动方向形成激光调后光线的第一半波片(3)以及将所述激光调后光线分别向第一分光路径和第二分光路径分光的分光棱镜(4)。