[实用新型]一种新型离子回旋共振天线有效
| 申请号： | 201020238916.8 | 申请日： | 2010-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN201750621U | 公开（公告）日： | 2011-02-16 |
| 发明（设计）人： | 祝宁 | 申请（专利权）人： | 合肥科烨电物理设备制造有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区长*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 一种新型离子回旋共振天线，涉及天线装置，主体由真空室构成，在真空室的腔体内充满高温等离子体，所述的真空室通过真空室颈管支撑连接，所述真空室和真空室腔体内的高温等离子体之间设置电极，电极和真空室连接，在所述电极和真空室连接点处穿过真空室壁后，电极一直向下延伸到真空室颈管的底端，在和真空室底端处通过馈口封闭。有益效果是通过离子回旋共振天线，可以实现入射波的馈入和传输、与等离子体内部磁场相耦合，产生频率共振，进而实现对等离子体的加热及电流驱动，完成清洗过程，提高了装置内部真空度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 离子 回旋 共振 天线 | ||
【主权项】：
一种新型离子回旋共振天线，主体由真空室构成，在真空室的腔体内充满高温等离子体，所述的真空室通过真空室颈管支撑连接，其特征在于：所述真空室和真空室腔体内的高温等离子体之间设置电极，电极和真空室连接，在所述电极和真空室连接点处穿过真空室壁后，电极一直向下延伸到真空室颈管的底端，再和真空室底端处通过馈口封闭。
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