[实用新型]一种镓扩散形成的可控硅穿通结构有效
申请号: | 201020240841.7 | 申请日: | 2010-06-28 |
公开(公告)号: | CN201804871U | 公开(公告)日: | 2011-04-20 |
发明(设计)人: | 周健;耿开远;朱法扬 | 申请(专利权)人: | 启东吉莱电子有限公司 |
主分类号: | H01L29/74 | 分类号: | H01L29/74;H01L29/06 |
代理公司: | 南京众联专利代理有限公司 32206 | 代理人: | 卢海洋 |
地址: | 226224 江苏省南*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种镓扩散形成的可控硅穿通结构,包括可控硅长基区,其特征是还包括镓穿通扩散区,所述镓穿通扩散区设于长基区的左右两侧,所述两个镓穿通扩散区的上下两角设有镓腐蚀槽。本实用新型的优点是:硼穿通扩散均可在温度1260摄氏度和1270摄氏度下进行穿通,穿通时间对应为170小时和120小时;穿通温度低、穿通时间短,少子寿命长,可控硅电压高;镓扩散浓度低,R□约100-200Ω/□,反向阻断电压低。 | ||
搜索关键词: | 一种 扩散 形成 可控硅 结构 | ||
【主权项】:
一种镓扩散形成的可控硅穿通结构,包括可控硅长基区,其特征是还包括镓穿通扩散区,所述镓穿通扩散区设于长基区的左右两侧,所述两个镓穿通扩散区的上下两角设有镓腐蚀槽。
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