[实用新型]测量单晶硅棒端面垂直度的高度尺有效
申请号: | 201020243388.5 | 申请日: | 2010-07-01 |
公开(公告)号: | CN201764937U | 公开(公告)日: | 2011-03-16 |
发明(设计)人: | 刘彬国;何京辉;牛敬磊 | 申请(专利权)人: | 邢台晶龙电子材料有限公司 |
主分类号: | G01B5/245 | 分类号: | G01B5/245 |
代理公司: | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人: | 米文智 |
地址: | 054001 河北*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种测量单晶硅棒端面垂直度的高度尺,包括:底座、垂直固定于底座上的刻度尺、安装在刻度尺上的游标以及位于游标侧部的测量爪,所述底座下方设有与切断机的机床滑道相适配的凸条。该测量单晶硅棒端面垂直度的高度尺结构简单、操作方便、可准确控制单晶硅棒端面的垂直度。 | ||
搜索关键词: | 测量 单晶硅 端面 垂直 高度 | ||
【主权项】:
一种测量单晶硅棒端面垂直度的高度尺,包括:底座(1)、垂直固定于底座(1)上的刻度尺(2)、安装在刻度尺(2)上的游标(3)以及位于游标(3)侧部的测量爪(4),其特征在于:所述底座(1)下方设有与切断机的机床滑道相适配的凸条(5)。
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