[实用新型]预热研磨垫的研磨机台有效
| 申请号： | 201020248363.4 | 申请日： | 2010-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN201744919U | 公开（公告）日： | 2011-02-16 |
| 发明（设计）人： | 邓武锋;刘俊良 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 牛峥;王丽琴 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种预热研磨垫的研磨机台，该研磨机台包括研磨垫、温度传感器、主控制器和温控系统；温度传感器，用于测量研磨垫的温度，将测量温度数字信号输出给主控制器；主控制器，用于根据所述测量温度数字信号指示温控系统调节温度至研磨垫预定温度；温控系统，设于研磨垫下方，提供温度给研磨垫，根据主控制器的指示调节温度。采用本实用新型的研磨机台对研磨垫进行预热，简单方便地实现产品晶片在预定的稳定温度状态下进行CMP研磨。 | ||
| 搜索关键词： | 预热 研磨 机台 | ||
【主权项】：
一种预热研磨垫的研磨机台，该研磨机台包括研磨垫、温度传感器、主控制器和温控系统；温度传感器，用于测量研磨垫的温度，将测量温度数字信号输出给主控制器；主控制器，用于根据所述测量温度数字信号指示温控系统调节温度至研磨垫预定温度；温控系统，设于研磨垫下方，提供温度给研磨垫，根据主控制器的指示调节温度。
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