[实用新型]一种晶圆推压固放机构

摘要

本实用新型公开了一种晶圆推压固放机构，包括一机架，竖立于机架上的支架，于支架上部安装有晶圆视觉系统镜头机构，机架上设有晶圆盘XY轴移动平台，晶圆视觉系统镜头机构和晶圆盘XY轴移动平台与外部的计算机连接；晶圆盘XY轴移动平台设有气缸控制其纵向和横向移动，晶圆盘XY轴移动平台上设有晶圆盘，晶圆盘上铺有聚酯薄膜层，聚酯薄膜层上放置有晶圆，支架上固定有位于晶圆视觉系统镜头机构和晶圆盘XY轴移动平台之间的压针装置，压针装置的输出端安装有晶圆压针，晶圆压针对应晶圆盘上的晶圆；机架上设有位于晶圆盘下方并对应各晶圆的LED支架。与现有的晶圆固放机构相比，具有机构简单、工作效率高、装配方便、造价成本低等优点。

主权项

一种晶圆推压固放机构，包括一机架(1)，竖立于机架(1)上的支架(2)，于支架(2)上部安装有晶圆视觉系统镜头机构(3)，机架(1)上设有位于晶圆视觉系统镜头机构(3)下方的晶圆盘XY轴移动平台(4)，晶圆视觉系统镜头机构和晶圆盘XY轴移动平台与外部的计算机连接；晶圆盘XY轴移动平台(4)设有气缸控制其纵向和横向移动，晶圆盘XY轴移动平台(4)上设有晶圆盘(5)，晶圆盘上铺有聚酯薄膜层(12)，聚酯薄膜层上放置有晶圆(11)，其特征在于：所述的支架上固定有位于晶圆视觉系统镜头机构和晶圆盘XY轴移动平台之间的压针装置，压针装置的输出端安装有晶圆压针(8)，晶圆压针对应晶圆盘上的晶圆；所述的机架上设有位于晶圆盘下方并对应各晶圆的LED支架(9)。