[实用新型]制造多晶锭的系统无效
| 申请号： | 201020259652.4 | 申请日： | 2010-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN201817576U | 公开（公告）日： | 2011-05-04 |
| 发明（设计）人： | 王敬 | 申请（专利权）人： | 王敬 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 黄德海 |
| 地址： | 100084 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种制造多晶锭的系统，包括：上炉体；下炉体；坩埚，所述坩埚设置在炉体空间内并被构造成容纳给料；至少一个加热器，用于加热坩埚并熔化容纳在坩埚中的给料；坩埚保持器，用于保持所述坩埚；坩埚支座，容纳有所述坩埚的所述坩埚保持器设置在所述坩埚支座上；隔热部件，所述隔热部件容纳在所述炉体空间内，并被构造成相对于所述坩埚纵向可移动；以及换热单元，所述换热单元用于控制来自坩埚底部的热量耗散，并在多晶锭凝固和/或冷却的过程中在坩埚支座之下形成用于散热的流路。根据本实用新型的系统，可以在保证多晶锭的质量的同时，提高整个多晶锭的生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 多晶 系统 | ||
【主权项】：
一种制造多晶锭的系统，其特征在于，所述系统包括：上炉体；下炉体，所述下炉体与所述上炉体相配合以形成炉体空间；坩埚，所述坩埚设置在炉体空间内并被构造成容纳给料；至少一个加热器，所述加热器用于加热坩埚并熔化容纳在坩埚中的给料；坩埚保持器，所述坩埚保持器用于保持所述坩埚；坩埚支座，容纳有所述坩埚的所述坩埚保持器设置在所述坩埚支座上；隔热部件，所述隔热部件容纳在所述炉体空间内，并被构造成相对于所述坩埚纵向可移动，以控制所述坩埚内的多晶硅锭的定向凝固；以及换热单元，所述换热单元设置在所述坩埚支座之下，用于控制来自坩埚底部的热量耗散，并在多晶锭凝固和/或冷却的过程中在坩埚支座之下形成用于散热的流路。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于王敬，未经王敬许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201020259652.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
