[实用新型]多功能硅片鼓泡清洗水槽有效
| 申请号： | 201020261778.5 | 申请日： | 2010-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN201711310U | 公开（公告）日： | 2011-01-19 |
| 发明（设计）人： | 索思卓;库黎明;边永智;闫志瑞 | 申请（专利权）人： | 北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/10 | 分类号： | B08B3/10 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 郭佩兰 |
| 地址： | 100088*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种多功能硅片鼓泡清洗水槽，它包括：存放水槽、多个鼓泡水槽，存放水槽设有纯水进水口，水槽的侧壁均开有漏水槽，水槽底部均为斜面，进水处高，排水处低，排水处底部都设有一个从底部直接排水的排水口，在水槽内铺设有水平塑料板，塑料板上有小孔，塑料板下面铺设有压缩空气管道，管道壁上开有多个孔。本水槽可以暂时存放待加工硅片，同时可以初步清洗掉硅片黏附的硅渣等杂质，以方便后期加工清洗，且水槽结构简单，操作简便，造价低廉。 | ||
| 搜索关键词： | 多功能 硅片 清洗 水槽 | ||
【主权项】：
一种多功能鼓泡式清洗水槽，其特征在于：它包括：存放水槽、多个鼓泡水槽，存放水槽设有纯水进水口，水槽的侧壁均开有漏水槽，水槽底部均为斜面，进水处高，排水处低，排水处底部都设有一个从底部直接排水的排水口，在水槽内铺设有水平塑料板，塑料板上有小孔，塑料板下面铺设有压缩空气管道，管道壁上开有多个孔。
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