[实用新型]一种用于检测腐蚀性气体中杂质的装置

摘要

本实用新型涉及气体的检测装置，公开了一种分析检测腐蚀性气体中杂质的装置，通过阀门的切换，改变气体流向，来进行分离检测。本实用新型结构简单，分析过程简便快捷，可以进行在线检测；杂质组分分离效果好；可以满足不同纯度腐蚀性气体的分析需求。

主权项

一种用于检测腐蚀性气体中杂质的装置，其特征在于，结构包括：三路辅助载气稳流系统、腐蚀性气体底气通路、氦气通路、耐腐蚀带吹扫十通阀、取样柱、耐腐蚀带吹扫六通阀和耐腐蚀带吹扫四通阀、预分离柱、分析色谱柱A和分析色谱柱B、氦离子化检测器和热导检测器；其中，第一路辅助载气稳流系统、第二路辅助载气稳流系统、取样柱的两端、预分离柱的两端分别连接到耐腐蚀带吹扫十通阀；耐腐蚀带吹扫十通阀连接到耐腐蚀带吹扫六通阀；分析色谱柱A和分析色谱柱B的两端分别与耐腐蚀带吹扫六通阀连接；耐腐蚀带吹扫四通阀分别与氦离子化检测器、热导检测器、第三路辅助载气稳流系统和耐腐蚀带吹扫六通阀连接。