[实用新型]链式扩散设备有效
| 申请号： | 201020276890.6 | 申请日： | 2010-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN201785548U | 公开（公告）日： | 2011-04-06 |
| 发明（设计）人： | 左凯锋;高琦;陈彦博 | 申请（专利权）人： | 无锡尚德太阳能电力有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/00 | 分类号： | C30B31/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 臧霁晨;李家麟 |
| 地址： | 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种链式扩散设备，在其本体进片侧的网带上方设置第一物料台，以便操作人员将自放置在该第一物料台上的承载盒内取出硅片送入传送单元。本实用新型使得操作人员在上片时无需在链式扩散设备的两个侧面区域活动，大大提高了操作人员操作的便利性和产量。 | ||
| 搜索关键词： | 链式 扩散 设备 | ||
【主权项】：
一种链式扩散设备，其特征在于，所述链式扩散设备包括链式扩散设备本体，所述链式扩散设备本体进片侧的网带上方设置有用于放置承载盒的第一物料台。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡尚德太阳能电力有限公司，未经无锡尚德太阳能电力有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201020276890.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
