[实用新型]一种具有保湿功能的清洗设备有效
| 申请号： | 201020277139.8 | 申请日： | 2010-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN201791706U | 公开（公告）日： | 2011-04-13 |
| 发明（设计）人： | 左国军 | 申请（专利权）人： | 常州捷佳创精密机械有限公司 |
| 主分类号： | B08B13/00 | 分类号： | B08B13/00 |
| 代理公司： | 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 | 代理人： | 胡朝阳;孙洁敏 |
| 地址： | 213100 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种具有保湿功能的清洗设备，包括一设备主体以及位于设备主体上用于上料的上料台，所述上料台位置处设置有一保湿装置，所述保湿装置包括一位于上料台上部的喷淋装置。本实用新型保湿功能的清洗设备用于硅片清洗前对硅片的保湿。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 保湿 功能 清洗 设备 | ||
【主权项】：
一种具有保湿功能的清洗设备，包括一设备主体以及位于设备主体上用于上料的上料台，其特征在于：所述上料台位置处设置有一保湿装置，所述保湿装置包括一位于上料台上部的喷淋装置。
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