[实用新型]多任务式晶圆烘烤加工系统

摘要

一种多任务式晶圆烘烤加工系统包含机架；晶圆馈入装置，设置在机架上，且可横向移动晶圆；十字型多任务移载装置，设置在该机架上，接收晶圆馈入装置的晶圆，具有垂直升降座及旋转盘，旋转盘设置在该垂直升降座上，且具有四支承载臂以用于承载晶圆；环型烘烤装置，设置在机架上且具有中央转盘、数个晶圆收放架、以及数个烤盘组件，各烤盘组件可接受来自于相对应的晶圆收放架的晶圆，该并对该晶圆进行烘烤；馈出装置，设置在机架上，可接收已烘烤好的晶圆。藉由上述系统可多任务进行晶圆烘烤作业，提高生产效率。

主权项

一种多任务式晶圆烘烤加工系统，其包含机架、晶圆馈入装置、烘烤装置、及馈出装置，该晶圆馈入装置设置在该机架上，且可横向移动晶圆；该馈出装置设置在机架上，可接收来自十字型多任务移载装置上已烘烤好的晶圆，其特征在于：还包括十字型多任务移载装置，其设置于该机架上，接收来自晶圆馈入装置的晶圆，且具有基座、垂直升降座及旋转盘，该基座设置在机架上，该垂直升降座以垂直滑动设置在该基座上，该旋转盘可旋转地设置在该垂直升降座上，且在旋转盘上设置有至少四支自旋转盘上径向向外突出的承载臂以用于承载晶圆；所述烘烤装置为环型，设置在机架上，与十字型多任务移载装置相对，且具有中央转盘、数个晶圆收放架及数个烤盘组件，该中央转盘可旋转地设置在机架上，该数个晶圆收放架径向分布在中央转盘周缘，且可抓取来自十字型多任务移载装置的晶圆，该数个烤盘组件固定在机架上且环设于中央转盘与晶圆收放架外围。