[实用新型]采用激光曲面镜反射进行熔硅液位检测的装置无效
| 申请号： | 201020284583.2 | 申请日： | 2010-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN201852618U | 公开（公告）日： | 2011-06-01 |
| 发明（设计）人： | 宋念龙;李琦;侯晓宁 | 申请（专利权）人： | 西安理工大学 |
| 主分类号： | G01F23/292 | 分类号： | G01F23/292 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 罗笛 |
| 地址： | 710048*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种采用激光曲面镜反射进行熔硅液位检测的装置，包括在单晶炉顶部两侧对称开设的两个开口，两个开口处分别设置有镀金石英玻璃，对应两个开口处分别设置有激光装置和CCD检测装置，激光装置和CCD检测装置内还设置有信号处理装置。本实用新型的激光液面检测装置，能够实时检测单晶炉液面位置，提高了检测装置的精度，便于检测信号的读取，还具有准确度高，检测时间短，故障率低，安装、操作简便等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 采用 激光 曲面 反射 进行 熔硅液位 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种采用激光曲面镜反射进行熔硅液位检测的装置，其特征在于，包括在单晶炉(6)顶部两侧对称开设的两个开口，两个开口处分别设置有镀金石英玻璃(5)，对应两个开口处分别设置有激光装置(3)和CCD检测装置(4)，激光装置(3)和CCD检测装置(4)内还设置有信号处理装置。
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