[实用新型]一种金属有机物化学气相沉积设备的加热器

摘要

一种金属有机物化学气相沉积设备的加热器，主要包括：由内至外依次设置的内圈加热片(7)、第一中圈加热片(8)、第二中圈加热片(9)、以及外圈加热片(10)；所述内圈加热片(7)、外圈加热片(10)、第一中圈加热片(8)和第二中圈加热片(9)采用两种或以上不同材质的加热片组成。加热器周边采用隔热屏(5)，这样减少加热器周边方向的热量损失，提高加热能效利用，也可以减少了周边零件因为受加热器辐射热量而对冷却的需求。采用转接块(3)实现了加热器安装电极和钼电极的电气连接连接，可以根据加热器下方的空间要求，改变转接块的形状和尺寸，解决空间狭小的问题。

主权项

一种金属有机物化学气相沉积设备的加热器，其特征在于，包括：由内至外依次设置的内圈加热片(7)、第一中圈加热片(8)、第二中圈加热片(9)、以及外圈加热片(10)；所述内圈加热片(7)、外圈加热片(10)、第一中圈加热片(8)和第二中圈加热片(9)采用两种或以上不同材质的加热片组成。