[实用新型]动态配气控制系统有效
| 申请号： | 201020285197.5 | 申请日： | 2010-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN201799249U | 公开（公告）日： | 2011-04-20 |
| 发明（设计）人： | 尚中锋;秦伟山;张青云;祁泽刚;王豪;马文生;王书潜;张永怀 | 申请（专利权）人： | 河南汉威电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B01F15/04 | 分类号： | B01F15/04;B01F3/02 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 刘芳 |
| 地址： | 450001 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种动态配气控制系统，包括：电源、工控机、电磁阀控制电路、至少两个用于盛放原料气体的钢瓶和至少两路气体质量流量控制器；电磁阀控制电路包括至少两个电磁阀；电磁阀的气体输入端口与钢瓶对应连接，电磁阀的气体输出端口与气体质量流量控制器的气体输入端口对应连接；电源，分别与工控机、电磁阀控制电路和气体质量流量控制器连接，用于为工控机、电磁阀控制电路和气体质量流量控制器供电；工控机，分别与电磁阀控制电路和气体质量流量控制器连接，用于根据目标组份标准气体的配气参数，控制电磁阀控制电路和气体质量流量控制器配置目标组份标准气体。本实用新型动态配气控制系统简单且成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 动态 控制系统 | ||
【主权项】：
一种动态配气控制系统，其特征在于，包括：电源、工控机、电磁阀控制电路、至少两个用于盛放原料气体的钢瓶和至少两路气体质量流量控制器；所述电磁阀控制电路包括至少两个电磁阀；所述电磁阀的气体输入端口与所述钢瓶对应连接，所述电磁阀的气体输出端口与所述气体质量流量控制器的气体输入端口对应连接；所述电源，分别与所述工控机、所述电磁阀控制电路和所述气体质量流量控制器连接，用于为所述工控机、所述电磁阀控制电路和所述气体质量流量控制器供电；所述工控机，分别与所述电磁阀控制电路和所述气体质量流量控制器连接，用于根据目标组份标准气体的配气参数，控制所述电磁阀控制电路和所述气体质量流量控制器配置所述目标组份标准气体。
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