[实用新型]用于直拉单晶硅炉的排气罩以及直拉单晶硅炉无效
| 申请号： | 201020285326.0 | 申请日： | 2010-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN201835003U | 公开（公告）日： | 2011-05-18 |
| 发明（设计）人： | 史记全;郭凯;王海渤;雷浩 | 申请（专利权）人： | 英利能源(中国)有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李玉秋;冯琼 |
| 地址： | 071051 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种排气上罩，包括：圆筒形的排气罩侧壁；在所述排气罩侧壁上设置有两个方向相反的排气孔。本实用新型提供的排气罩上设置有两个方向相反的排气孔，炉内的气体从所述两个排气孔内排出。与现有技术相比，由于排气孔的数目只有两个，因此炉内的气体流可以从这两个排气孔内稳定的排出，炉子内的气压变化稳定，气流稳定，因此不会出现紊流现象，而且不会出现气体粘附的问题，不会在硅单晶上形成杂质，有利于制备高纯度的单晶硅。此外，由于不会出现紊流现象，因此不会产生拉单晶过程中的液面抖动问题，从而不会对单晶硅的质量产生副作用。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 单晶硅 排气 以及 | ||
【主权项】：
一种用于直拉单晶硅炉的排气罩，其特征在于，包括：圆筒形的排气罩侧壁；在所述排气罩侧壁上设置有两个方向相反的排气孔。
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