[实用新型]一种用于准分子激光辐照的可调温调压气氛装置

摘要

本实用新型是一种用于准分子激光辐照系统的可调温调压气氛控制装置，属于激光与物质相互作用的研究领域。一密闭腔体，腔体上设置有一进气口、一出气口。进气口依次通过挡板阀、微调充气阀、稳压阀与气瓶管道相连，在连接管道上设置有压力表；进气口还依次通过挡板阀、隔断放气阀与机械泵管道连接，在连接管道上设置有真空计。出气口与放气阀管道连接，在连接管道上设置有流量计。在腔体内设置有样品台，样品台能够从腔体侧壁取出，在样品台内设置有用于对样品台进行加热的碘钨灯，碘钨灯与温度控制器相连接，温度控制器与控制箱相连接。本实用新型可以实现激光辐照区域在不同温度、不同压强条件下气体成分以及流速的稳定控制。

主权项

一种用于准分子激光辐照的可调温调压气氛装置，其特征在于：包括一密闭腔体，腔体上设置有一进气口、一出气口；进气口依次通过挡板阀、微调充气阀、稳压阀与气瓶管道相连，在连接管道上设置有压力表；进气口还依次通过挡板阀、隔断放气阀与机械泵管道连接，在连接管道上设置有真空计；出气口与放气阀管道连接，在连接管道上设置有流量计；在腔体内设置有样品台，样品台能够从腔体侧壁取出，在样品台内设置有用于对样品台进行加热的碘钨灯，碘钨灯与温度控制器相连接，温度控制器与控制箱相连接；在腔体侧壁上还设置有用于观测样品台的观察窗；在腔体上还留有用于激光照射的窗口，该窗口与样品台在同一水平高度。