[实用新型]一种能使四氯化硅转化为三氯氢硅的反应器无效
申请号: | 201020516330.3 | 申请日: | 2010-09-03 |
公开(公告)号: | CN201801385U | 公开(公告)日: | 2011-04-20 |
发明(设计)人: | 杨连勇;郭增昌;李向丹;李菊;田明 | 申请(专利权)人: | 特变电工新疆硅业有限公司 |
主分类号: | C01B33/107 | 分类号: | C01B33/107 |
代理公司: | 北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 | 代理人: | 夏晏平 |
地址: | 830011 新疆维吾尔自治区*** | 国省代码: | 新疆;65 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种能使四氯化硅转化为三氯氢硅的反应器,包括反应器外壁(13)、内壁(14)、夹在外壁和内壁之间的夹套(6)、至少一层固定在反应器内壁的筛板(4)、反应器底部的还原尾气进口(1)、反应器顶部的还原尾气出口(8)、夹套(6)底部的导热油进口(3)、夹套(6)顶部的导热油出口(12)、设置在反应器中部和上部的温度测量计(11)、设置在反应器底部的氮气进口(10)和氯化氢气体进口(9)。本实用新型造价成本低,反应充分,并且利用循环工艺降低了能耗。 | ||
搜索关键词: | 一种 能使四 氯化 转化 三氯氢硅 反应器 | ||
【主权项】:
一种能使四氯化硅转化为三氯氢硅的反应器,其特征在于:所述的反应器包括反应器外壁(13)、内壁(14)、夹在外壁和内壁之间的夹套(6)、至少一层固定在反应器内壁的筛板(4)、反应器底部的还原尾气进口(1)、反应器顶部的还原尾气出口(8)、夹套(6)底部的导热油进口(3)、夹套(6)顶部的导热油出口(12)、设置在反应器中部和上部的温度测量计(11)、设置在反应器底部的氮气进口(10)和氯化氢气体进口(9)。
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