[实用新型]用于放置石墨框的缓冲板

摘要

本实用新型涉及一种用于放置石墨框的缓冲板，涉及硅片镀膜技术领域，所解决的是提高取片效率及降低硅片镀膜层损伤率的技术问题。所述石墨框呈网格状，该缓冲板包括基板，及固定在基板上板面的与石墨框的各个网格相对应的多个凸块，每个凸块的上端面均高于基板的上板面，每个凸块的上端面均为倾斜于基板上板面的平面，且每个凸块的上端面至少有一条边为向内凹陷的凹边，每个凸块的上端面从凹边一侧朝向该凹边对侧方向向下倾斜；每个凸块高度较低一侧的高度低于石墨框的整体厚度，每个凸块高度较高一侧的高度高于石墨框的整体厚度。本实用新型提供的缓冲板，能提高操作人员的取片效率，降低对硅片镀膜层的损伤率。

主权项

一种用于放置石墨框的缓冲板，所述石墨框呈网格状，该缓冲板包括基板，及固定在基板上板面的与石墨框的各个网格相对应的多个凸块，每个凸块的上端面均高于基板的上板面，其特征在于：每个凸块的上端面均为倾斜于基板上板面的平面，且每个凸块的上端面至少有一条边为向内凹陷的凹边，每个凸块的上端面从凹边一侧朝向该凹边对侧方向向下倾斜。