[实用新型]太阳能硅片的自动检测系统

摘要

本实用新型涉及一种太阳能硅片的自动检测系统，包括将待检测硅片自动上载到检测平台上的自动上料装置、设置在检测平台上对待检测硅片进行检测的硅片检测装置，以及将检测完的硅片自动下载的自动下料装置，以及分别与自动上料装置、自动下料装置、硅片检测装置电连接的控制运算单元；本设备采用全自动化处理，不需要人工参与，因此检测结果不受人工因素或者环境因素的影响，具有一致性、稳定性和可靠性，节省了人工成本，提高了检测效率、能够完全满足硅片的检测需求。

主权项

太阳能硅片的自动检测系统，其特征在于：该系统包括将待检测硅片自动上载到检测平台上的自动上料装置、设置在检测平台上对待检测硅片进行检测的硅片检测装置，以及将检测完的硅片自动下载的自动下料装置，以及分别与自动上料装置、自动下料装置、硅片检测装置电连接的控制运算单元；所述硅片检测装置包括对硅片隐裂状况进行检测的隐裂检测装置、对硅片的上下表面进行检测的外观检测装置、采用二维、三维影像摄取装置对硅片几何尺寸及硅片翘曲进行检测的硅片几何尺寸及翘曲检测装置、以及对硅片电阻率进行检测的电阻率检测装置；所述隐裂检测装置、外观检测装置、硅片几何尺寸及翘曲检测装置以及电阻率检测装置分别与控制运算单元电连接。